近日,第一财经研究团队前往位于上海的万业企业(600641.SH,下称“万业”)总部及其控股子公司凯世通和万业位于深圳的参股公司Compart Systems Pte.Ltd(下称“Compart”)进行现场交流。
4月17日,万业发布2020年年报。报告期内,公司实现营业收入9.31亿元,实现归母净利润3.15亿元;扣除非经常性损益后,实现归属于上市公司股东的净利润2.52亿元,研发支出为5339.51万元,同比增长202.42%。
根据通联数据Datayes!,2021年上半年,公司实现营业收入6.09亿元,同比增长28.25%;实现归母净利润2.79亿元,同比增长55.18%。
万业的主要业务主要包括房地产和集成电路核心装备。近年来,万业致力于向集成电路高科技企业转型,正在逐渐退出房地产业务。
集成电路核心装备作为万业的重要转型业务板块,主要包括两块:一是以凯世通离子注入机,集科研、制造于一体的高科技项目,产品覆盖集成电路与光伏两个市场领域;二是公司于2020年12月牵头境内外投资人收购全球领先的集成电路设备领域气体传输系统精密零部件供应商Compart。
收购凯世通,切入离子注入机赛道
离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备之一,其难度和单价仅次于光刻机。
在集成电路产业中,离子注入机是通过对半导体材料表面进行某种元素的离子注入掺杂,从而改变半导体载流子浓度和导电类型的掺杂工艺制程,目前被广泛应用。据Gartner统计,在晶圆制造工艺设备市场中,集成电路离子注入机价值量占比为2.5%-3.3%。
根据Gartner数据,2019年全球半导体设备投资额约600亿美元,离子注入机全球市场规模约18亿美元。而全球可量产离子注入机的企业仅有AMAT、Axcelis、AIBT、凯世通等8家,AMAT和Axcelis两大寡头市占率约90%。
2015年,浦东科投成为万业第一大股东后,万业就开启了向集成电路产业的转型之路。
此后,万业与国家集成电路产业基金牵头成立上海半导体装备材料产业投资基金,2018年引入国家集成电路基金为第三大股东。同年,万业收购凯世通100%股权,公司业务重心不断向半导体转移。
凯世通最初是由五位国际知名注入机专家创立,其中四位曾有国际离子注入机巨头企业Varian、Eaton、AIBT的任职经历。
值得一提的是,陈炯是AIBT创始人之一兼首席技术官,他曾带领团队成功开发两代大束流离子注入机,并于2007年进入当时最先进32-28nm台积电生产线,实现全球销售80台套。
据了解,凯世通承担了多项国家重大专项和科技项目,获得的知识产权全部归凯世通所有。在2016年已突破14nm工艺中离子注入机研发的最大技术障碍,目前凯世通离子注入机的工艺已实现28nm至3nm全面覆盖。”万业企业副总裁兼董秘周伟芳在接受第一财经专访时透露。
周伟芳坦言,半导体设备的国产化还在初级阶段,国产离子注入机的市场也才刚刚被打开。
订单接不完,等待“从1到n”的飞跃
“缺芯潮”下,国际半导体巨头纷纷扩张产能,从英特尔200亿美元筹建新晶圆工厂到台积电三年内投资1000亿美元强化半导体制造,再到韩国第二大芯片厂SK海力士千亿美元扩产计划获批,都预示了半导体设备的火爆需求。
TrendForce集邦咨询最新数据显示,2021年部分厂商将陆续扩增新产能,预期今年整体晶圆代工产业产值将以945亿美元再次创下历史新高,年增11%。
4月15日,在一季度财报会上,台积电总裁魏哲家表示,“需求仍然很强劲,产能短缺将持续今年全年,并可能延续到2022年。”台积电今年的资本开支由年初的250亿-280亿美元提升至300亿美元。
SEMI(国际半导体产业协会)最新报告显示,全球半导体行业有望连续三年创下晶圆设备支出新高。2020年晶圆厂设备支出增长16%,今年将增长15.5%,2022年预计将增长12%。在今明两年,大部分晶圆厂投资将用于晶圆代工和内存领域。
从国内看,目前,国家集成电路产业投资基金二期已经全面进入了投资阶段,投资方向将注重国产设备与材料领域的投资,从而带动国产半导体设备厂商实现大发展。
“当前中国的半导体市场处于历史最好时期,是黄金窗口期。”4月7日,半导体设备商沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事长、总裁宗润福在业绩会上表示,黄金期至少会持续三到五年。
“从去年下半年开始,我们感受到下游客户对购买国产设备的意愿显著提高。”万业企业旗下凯世通半导体总经理陈克禄博士对记者表示,“一条月产1万片的12英寸逻辑芯片生产线需要12~15台离子注入机,其中60%低能大束流设备、20%高能设备、20%中束流设备,而凯世通主要瞄准低能大束流及高能离子注入机市场空间,占整个市场领域高达80%”那么,凯世通的现有订单和交付能力如何?
截至2020年年报报告期末,北京凯世通共取得4个集成电路离子注入机设备订单。同时,上海凯世通超越7nm离子注入平台已通过客户验证并取得验收。
2021年中报期内,公司又新增2台订单,与国内另一家12英寸芯片制造厂分别签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。
2021年上半年,凯世通自主研发的低能大束流离子注入机率先在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂已完成设备验证工作并确认销售收入,这也是首台完成国内主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备,标志国产化设备在成熟工艺这一重大技术领域取得商用化突破。同时,凯世通重金属离子注入机和超低温大束流离子注入机已完成客户交付,高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。
而凯世通在2020年的营业收入和净利润分别为2195.49万、-9586.12万元,2019年这俩数字分别为8390.42万、-299.63万元。
万业对此的解释是:凯世通正处于产品战略转型升级推动阶段,原有的光伏离子注入机销售收入大幅减少,集成电路离子注入机产品尚处于客户验证阶段,未形成销售收入;另本期凯世通实施股权激励产生相关的股份支付费用,以及集成电路离子注入机产品相关研发投入扩大导致研发费用增加。
8月18日,万业公告称,公司第一期员工持股计划已全部完成股票非交易过户。第一期员工持股计划账户持有公司股份 1999.9984 万股,占公司总股本的 2.09%,过户价格为9.31元/股。
如前文所述,首台设备已交付,“从0到1”的跨越已实现。然而目前考验设备厂商的是采购能力和交付能力,设备交付“从1到n”才是关键。据陈克禄博士描述,今年下半年,凯世通将率先实现批量生产。凯世通也将在2021年迎来业绩上扬的巨大希望。
目前,凯世通业绩扭亏为盈,业绩放量曙光已现。根据2021年度半年报显示,今年上半年凯世通实现营业收入3501.53万元、净利润200.75万元,研发费用同比增长575.25%。公司在离子注入机设备验证、产品交付、销售收入以及新订单签署等工作均取得显著进展。
1)自主研发的低能大束流离子注入机在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂已完成设备验证工作并确认销售收入,这也是首台完成国内主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备,标志国产化设备在成熟工艺这一重大技术领域取得商用化突破。
2)凯世通重金属离子注入机和超低温大束流离子注入机已完成客户交付,高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。
3)上半年公司又新增2台订单,与国内另一家12英寸芯片制造厂分别签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。
收购Compart上游协同,带资“横扫”半导体产业
当前,我国半导体设备产业链建设仍处于起步阶段,国产设备大量核心部件仍依赖于进口。据北方华创统计,半导体设备零部件的国产化率约10%-30%。供应商供货存在不稳定的风险。
万业表示,目前公司转型与市场预期尚有差距。在零部件方面,离子注入机零部件有部分是国外公司生产,加之受全球疫情影响,国外零部件供货时间较难完全掌控。
2020年12月,万业牵头境内外投资人完成对全球领先的集成电路气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart的收购,并间接成为Compart第一大股东。
Compart是全球领先的集成电路气体输送系统领域供应商之一,其主要产品包括BTP(Built To Print)组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器(MFC)、焊接件等,产品用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统。
“Compart是全球少数可完成该领域零组件精密加工全部环节的公司,国内尚未有相应的竞争者。”周伟芳对记者介绍,“中国集成电路行业中最为关键的卡脖子环节,如半导体前道设备,均是由若干子系统组成。Compart制造的气体输送系统正是设备子系统中最为核心部件之一,因此发展设备子系统的本土化也是极具重要战略意义,有助于填补国内空白。”
在从房地产向高科技转型路上,资金是万业的一大优势。
万业前三大股东分别为浦东科投,三林万业和国家集成电路产业投资基金,持股数量分别为2. 72亿、1.24亿、0. 68亿股,持股占比分别为28.44%、12.90%、7.07%。
9月1日,万业公告称,第三大股东国家集成电路产业投资基金因其自身经营管理需要,拟自披露该减持计划公告日起15个交易日后的6个月内,即2021年9月27日至2022年3月25日期间,采取集中竞价交易与大宗交易方式减持股份数量不超过公司股份总数2.1%,即不超过2011.65万股。
控股股东浦东科投曾投资过多家半导体优质企业,包括先进半导体、中微公司、盛美半导体、澜起科技、芯原微等。凭借着新兴产业领域的多年成功投资经验,浦东科投将助力万业打造国家级的集成电路装备材料龙头。
此外,万业已入股上海半导体装备材料基金,深入布局半导体装备材料核心资产,基金总规模100亿元,投资企业包括华卓精科、新加坡STI、江苏长晶、上海御渡等。
万业表示,公司将通过上海半导体装备材料基金的平台深入布局集成电路装备材料核心资产,积极开展“集成电路+投资+产业园”的创新模式探索,以“三驾马车”并驾齐驱,攻坚集成电路装备材料领域,全面转型成为集成电路高端装备材料龙头企业,实现收入和利润的更大突破。
9月1日,第一财经查阅天眼查数据发现,万业100%持股长三角一体化示范区(浙江嘉善)嘉芯半导体设备科技有限公司。